CCQ-A型气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。

CCQ-A型气动超高真空插板阀主要技术性能： 适用范围(Pa) 105～1.3x10-7 阀门漏率(Pa.L/S) DN≤200为≤1.3x10-7 DN≥250为≤6.7x10-7 阀门烘烤温度（℃） ≤150(除传动装置外) 开阀时阀板两侧压力差(Pa) ≤2.7x103 气源压力（MPa） 0.4～0.6 电源电压 标准出厂：AC220V/50Hz 特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等 信号反馈 标准出厂：不带反馈信号 特殊指定：微动开关DC/AC5～240V

CCQ-A型气动超高真空插板阀连接及外形尺寸：

型号 通径(DN) ΦD ΦD0 ΦD1 ΦD2 ΦD3 H A n-d L L1 B 法兰标准 CCQ-50A 50 89 72.4 61.6 55.6 / 60 91 8-M8 515 153 62 GB/T6071 CCQ-63A 63 114 92.1 82.6 76.6 / 65 105 8-M8 590 180 62 CCQ-80A 80 130 110 99 93 / 65 130 16-M8 608 220 75 CCQ-100A 100 152 130.2 120.7 114.7 / 70 152 16-M8 655 267 94 CCQ-150A 150 202 181 171.5 165.5 / 70 202 20-M8 707 350 94 CCQ-200A 200 254 231.8 222.3 216.6 / 80 251 24-M8 806 426 112 CCQ-250A 250 314 288 308 275 271 85 300 24-M10 1125 550 112 JB5278 CCQ-300A 300 365 338 353 323 318 90 352 32-M10 1195 613 140 /