激光干涉仪检测机床各项误差是一种用传统测量手段难以实现的技术。
 

中图仪器sj6000激光干涉仪采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

在数控机床精度测量方面，丰富的模块化组件可根据具体测量需求而选择，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。广泛应用于精密检测仪器、机床、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、三坐标、机器人、精密机械设备等领域的线性测量。

测量机床直线度

测量机床偏摆角度

自动化设备精度测量

中图仪器sj6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。通过与不同的光学镜组结合，还实现对线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测。

注意事项

对角线测量套装配置需求：对角线测量套装＋可调转向镜

平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组

平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可

短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组

长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组

直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量