1.   简介

1.1. 产品简介

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的高精度、高灵敏度检测设备，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量，并进行动态分析。

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析。

在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。

2. 功能特点

2.1. 产品功能特点

      测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨力可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。

      具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。

      可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正的提供依据。

      具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线) 及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析等。

      内置国内外通用的标准，含国标(GB) 、ISO(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共10份 。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

      可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动进行环境补偿。

      测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。

      安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

2.2. 分析标准配置

激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准：

3.   技术指标

3.1. 技术指标

      系统性能

    测量方式：单频

    稳频精度：0.05ppm

    动态采集频率：50 kHz

    预热时间：约6分钟

    工作温度范围：(0~40)℃

    环境温度范围：(0~40)℃，环境湿度：(0~95)%RH

    存储温度范围：(-20~70)℃

      环境补偿示值误差

    空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

    材料温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

    空气湿度传感器：±6%RH  (0~95) %RH

    大气压力传感器：±0.1kPa

      线性测量

    测量距离：(0~40)m

    测量精度：0.5ppm (0~40)℃

    测量分辨力：1nm

    测量*大速度：4m/s

      角度测量

    轴向量程：(0~15)m

    测量范围：±10°

    测量精度：±(0.04%R)″ (R为显示值，单位：″)

    测量分辨力：0.1″

      平面度测量

    轴向量程：(0~15)m

    测量范围：±1.5 mm

    测量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

    基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm

      直线度测量

    轴向量程：(0.1~4.0)m

    测量范围：±3mm

    测量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

    测量分辨力：0.01μm

      垂直度测量

    轴向量程：(0.1~3.0)m

测量范围：±3mm

    测量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

    测量分辨力：0.01μm/m

      回转轴精度测量

    角度测量范围：(0~360)°

    测量精度：±1″

*高转速：10rpm

锂电池供电，蓝牙传输数据。

3.2. 尺寸重量与供电

² 便携箱尺寸： 560mm×460mm×270mm

² 基本重量(含三脚架，包装)：15Kg

² 供电电源：(100~240)VAC