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高真空角阀系列XL提供了良好的热导率的结果在一个温度均匀整个阀体和一个有显著的下降的压缩气体阀门内。smc阀门不含重金属,比如镍(镍)或者Cr(chrome)和低收益率也有助于*小化溅射重金属污染的半导体晶片。
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