普氮(纯度98-99.5%)、氢气分别进入静态混合器，使其混合均匀，然后被导入脱氧器（使氮气中的氧气和氢气发生反应生成水），再经过水冷却器，使温度降至常温，然后通过高效除油器除去液态水，气体再被导入冷冻式干燥机和吸附式干燥机系统进行干燥，然后导入氮气储气罐，即可得纯度达99.999%的氮气。
5、 放空系统（见图2）
当纯氮气出口氮气纯度达不到要求，可以选择放空，放空有手动放空和自动放空两档。
当须自动放空时先将控制面板（见图4）上的 放空开关 切换按钮置于“开”处，阀1开，用调压阀2调整好氮气压力，然后关闭阀5，图中阀4开，电磁阀3闭，在电磁阀3处并联280E微量氧气分析仪，但氮气纯度未达到设定值时，该仪器即给电磁阀信号，将电磁阀打开，起到了放空作用。
5.2手动放空
当须手动放空时先将控制面板（见图4）上的 放空开关 切换按钮置于“关”处，用调压阀2调整氮气压力，然后打开阀5（同时关闭阀4）即为手动放空。