主要特征:
 各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位
三轴均采用预载荷空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损
 三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺，系统分辨率可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩
 采用海克斯康为Function Plus专业打造的IDC-II控制系统，21项误差空间修正技术和自动调谐功能，保证了大型机器的动态性能和测量精度
 测量机三轴都配置温度传感器，实时监控温度变化，自动补偿由于温度变化而引起的误差
规格型号与技术指标：
800 1000
机器型号 F10128 F121510 F122010 F122510 F12310
行程（mm） X 1000 1200 1200 1200 1200
Y 1200 1500 2000 2500 3000
Z 800 1000 1000 1000 1000
测量空间（mm） Dx 1100 1300 1300 1300 1300
Dy 1960 2340 2840 3340 3840
Dz 950 11150
Dx1 153 173 173 173 173
Dy1 250 280 280 280 280
承重（kg） 1200 2000 2000 2000 2000
机器重量(kg) 4000 5300 8500 10500 12500
MPEe(μm) 4.0+L/300 5.0*L/300 5.0*L/300 7.0*L/300 7.0*L/300
MPEp(μm) 4.5 5.5 5.5 5.5 5.5
光栅尺分辨率（μm） 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4
空间移动速度（mm/s） 200 200 200 200 200
空间移动加速度（mm/ s2） 450 450 450 450 450
流量/供气压力 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa
注：工作环境为温度（20±2）℃, 湿度为45%-75%