技术指标
设备型号 温区个数 *高温度 加热区长度 炉管尺寸及材料 装机功率
RGDL(D)-2/80/44 2个 1100℃ 440mm Φ80石英管 5kw
RGDL(Z)-1/60/30 1个 1400℃ 300 mm Φ60刚玉管 8 kw
RGDL(G)-3/60/60 3个 1650℃ 600 mm Φ60刚玉管 18 kw
RGDL(D)-1/50/70 1个 1200℃ 500 mm Φ70石英管 8 kw
RGDL(Z)-2/30/60 2个 1400℃ 600 mm Φ60高纯刚玉管 10 kw
RGDL(G)-1/50/80 1个 1650℃ 500 mm Φ80高纯刚玉管 12 kw
备注：RGDL系列管式炉全部可以按照客户要求通入各种惰性、还原性、反应性气体，通过浮子流量计或质量流量计控制气体通入量。同时还可以通过单机机械泵或真空机组预抽真空，系统具备冷态极限真空6.67×10² Pa 。