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AA级―前级过滤器,可滤除直径1μm以上的粒子,经过FF级过滤器后,空
气含油量≤0.3mg/m3（ppm）。
AO级―后级过滤器，可滤除直径0.01μm以上的粒子，经过BF级过滤器
后,空气含油量≤0.01mg/m3（ppm）。
AR级―活性碳过滤器,用于吸附油蒸汽,经过CA级过滤器后,空气含油量≤0.003mg/m3（ppm）。CA级过滤器须前置FF或BF级过滤器保护
气含油量≤0.3mg/m3（ppm）。
AO级―后级过滤器，可滤除直径0.01μm以上的粒子，经过BF级过滤器
后,空气含油量≤0.01mg/m3（ppm）。
AR级―活性碳过滤器,用于吸附油蒸汽,经过CA级过滤器后,空气含油量≤0.003mg/m3（ppm）。CA级过滤器须前置FF或BF级过滤器保护
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