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湘潭震旦压缩机有限公司

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多晶硅、三氯氢硅尾气压缩机的特点
发布时间:2014-04-28        浏览次数:537        返回列表

三氯氢硅合成尾气的体积分数分别为HCl 30%H2 64.2%SIHCl3 5.4%;其他0.2%。多晶硅混合气是在还原三氯氢硅过程中产生的尾气,成分复杂,主要是四氯化硅和三氯氢硅,二氯二氢硅等。多晶硅和三氯氢硅尾气未经处理排放大气,不仅造成污染,还存在重大安全隐患。

根据尾气的特性、成分、压力等,选择适当的工艺流程和技术条件进行尾气处理,则可降低三废排放,变废为宝。把尾气经过压缩后采用冷凝或变压吸附法(即湿法处理,常规干法或新型干法技术处理)进行吸附、分离、提纯,尾气则变成可回收的产品或可循环使用的原料。

我公司生产制造多晶硅、三氯氢硅尾气压缩机,以及生产多晶硅、三氯氢硅需要的补充氢压缩机、循环氢压缩机、还原氢压缩机、氮气压缩机。多晶硅、三氯氢硅尾气压缩机采用填函前置气顶气、回收室一次氮封、D型隔离室二次氮封的安全密封结构,确保介质气体不会外漏。

阳建良
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