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美国VARIAN公司VS氦质谱检漏仪
VS系列氦质谱检漏仪
特性及优点
・多种语言和计量单位选择，可选中文界面
・135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构
・新的电子线路及信号处理设计
・*小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
・快速清氦和快速响应
・测试口耐压高，可实现大漏检漏
技术规格
性能指标
PR02
MR15&MD30
性能
前级泵内置式
前级泵外置式及小车
前级泵 油式机械泵
DS-42 2 m3/hr (34 l/m)
DS-302 14 m3/hr (232 l/m)
涡卷式干泵
N/A
TS-620 30 m3/hr (500 l/m)
*小可检漏率在1000ppm的氦气背景下
5×10-12 atm cc/sec；
5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium
测试口*高耐压
16 mbar，12 Torr，1600 Pa
测试口处对氦气抽速
1.8 l/s
校准程序
自动或手动（内置或外置）
氦本底清零
按键清零，并具有零点追踪功能
操作界面
高清晰彩显，TFT触摸屏
语言选择
中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语
循环检测
可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点
响应时间
＜1.0秒
设定点
标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点
通讯协议
RS-232 通讯借口，9600波特率（9芯窜口）
执行标准
UL，CE，CSA
美国瓦里安检漏仪