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iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59000945
iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59000946
iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59000957
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照*高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时*大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
Edwards iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时*大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
峰值速度: 103 m3h-1
61 cfm
1717 l min-1
极限真空: 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型轴封氮流量: 4 slm
进气口连接: ISO63
出口连接: NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量: 120 l h-1
2 l min-1
重量: 240 kg
极限功率输入: 2.7 kW
电机额定功率: 3.5 kW
油容量: 0.7 l