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氦气技术指标：
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组分/杂质 |
纯氦/4.0N |
高纯氦/5.0N |
超纯氦/6.0N |
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氦气含量 |
99.99% |
99.999% |
99.9999% |
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氖Ne |
≤40ppm |
≤4ppm |
≤1ppm |
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氢H2 |
≤7ppm |
≤1ppm |
≤0.1ppm |
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氧O2+氩Ar |
≤5ppm |
≤1ppm |
≤0.2ppm |
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氮N2 |
≤25ppm |
≤2ppm |
≤0.5ppm |
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一氧化碳CO |
≤1ppm |
≤0.5ppm |
≤0.1ppm |
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二氧化碳CO2 |
≤1ppm |
≤0.5ppm |
≤0.1ppm |
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总碳(甲烷)THC |
≤1ppm |
≤0.5ppm |
≤0.1ppm |
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水分H2O |
≤20ppm |
≤3ppm |
≤0.2ppm |
氦气包装种类
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钢瓶种类 |
气体压力 |
气体体积 |
气体净重 |
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50L钢瓶 |
19.5±0.5MPa |
10000L |
1.65kg |
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40L钢瓶 |
14.5MPa |
5400L |
0.957kg |
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10L钢瓶 |
10MPa |
1000L |
0.165kg |
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管束槽车（TT） |
20MPa |
约5000m3 |
约825kg |
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钢瓶接口:QF-2、PX-32外螺纹/内螺纹,螺纹出口G5/8(外径22.911,牙数为14牙/英寸,螺距为1.814毫米,牙高1.162,小径20.587),CGA580 |
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