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液氦技术指标：
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组分/杂质 |
超纯氦/6.0N |
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氦气含量 |
99.9999% |
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氖Ne |
≤1ppm |
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氢H2 |
≤0.1ppm |
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氧O2 |
≤0.1ppm |
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氩Ar |
≤0.1ppm |
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氮N2 |
≤0.1ppm |
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一氧化碳CO |
≤0.1ppm |
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二氧化碳CO2 |
≤0.1ppm |
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总碳(甲烷)THC |
≤0.1ppm |
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水分H2O |
≤0.2ppm |
液氦包装种类
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包装物 |
液体体积 |
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杜瓦罐 |
500L |
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250L |
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100L |