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高可靠性的内置钯膜单元设计
结构紧凑，流量大
相称的、差异的、配置不同的温度控制器
加速老化寿命测试，确保可靠性
一年保修
机械性能：
管路/压力盒材料： 316L不锈钢
氦气泄漏测试： 1E-9cc/sec
后面板管路接口： 1/4”密封接头
膜测试压力： 400PSIG
所有UPH管路都进行电镀，所有UPH元件表面微刨光
工艺说明：
超高纯氢气纯度：99.9999999%
（在UPH流量>20%的*大流量或>15SLPM,无论那种情况纯度都要低于原来的纯度）
超高纯氢气流量:60-400SLPM(据不同型号)
氢气进气压力: 36-200PSIG(据不同型号)
进口氢气纯度: 约于99.95%
氢气出口流失: 正常在进口氢气量的1-4%
正常功率消耗:<700瓦
6000,7000系列