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光伏拉晶真空泵、电池镀膜、组件层压爱德华SL800爪式真空泵应用

需求背景：光伏行业真空泵；用于拉晶工艺、电池镀膜、组件层压等。

随着光伏行业的发展，真空泵为光伏设备关键部件，设备中的真空稳定性是工艺稳定的关键技术之一；光伏用真空泵主要为干式真空泵、螺杆真空泵、爪式真空泵与罗茨真空泵；真空泵主要应用于硅片拉晶，电池片高方阻扩散（低压扩散炉）和PVD、PECVD镀膜工艺，组件层压环节等。光伏电池主要分为：硅料制程、硅片制程、电池片制程和组件制程。

根据某光伏行业实际项目需求，深圳市托理拆利机电设备有限公司推荐选用了Edwards爱德华SL800爪式真空泵、GXS系列、iXH系列真空泵，用于光伏拉晶环节与电池片环节。

Edwards SL800爪式真空泵该真空泵适用于超严苛制程工艺，主要表现在内部结构沿用了 iXH 系列干泵类似设计如爪式干泵、大扭力电机、氮气吹扫、 多种通讯方式支持等特性，有效处理工艺带来的残留气体和副产物对泵的影响，确保泵的长时间稳定工作，SL800(X) 型号作为 800m3/hour 级别抽速的高温泵类型，针对于 PECVD Nitride （SiH4+NH3）镀膜工艺，也可应用于 LPCVD、ICP Etch 等工艺上； SL800X 相对于 SL800 增加了内部加热带，可进一步提高泵内部温度，适合 Metal/PSS etch 等工艺，可有效防止副产物冷凝。

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